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晶升股份自主研发大尺寸CVD SiC涂层成套设备完成交付
2026-08-25 15:08:33 来源: 财联社


(资料图片仅供参考)

据晶升股份消息,近日,晶升股份自主研发的大尺寸CVD SiC化学气相沉积涂层成套设备完成整机出厂检验,正式装车发运交付客户,标志着公司在大尺寸碳化硅涂层工艺装备领域取得重要进展,为半导体热场关键部件的国产化制造提供了有力支撑。

标签: 晶升股份 成套设备 SiC 半导体 碳化硅

责任编辑: jkl2